转让二手光弛真空镀膜机OTFC-1800CBI/DBI

工厂转让2台进口日本OTFC-1800CBI/DBI光学真空镀膜机
真空室 SUS304, φ1800mm×1920mm (H) 
工件架 φ1600mm 
工件架转速 10rpm to 30rpm(可变) 
光学膜厚控制 HOM2-R-VIS350A光学膜厚监控仪
波长范围：350nm to 1100nm
反射式或透射式 
石英晶振膜厚计 XTC/3+6点式石英晶体传感器 
蒸发源 电子枪2套 
离子源 23cmRF离子源 
排气系统 机械泵+2个扩散泵+Polycold（或2个冷凝泵） 　
性能：
达到压力 7.0×10-5 Pa 以下 
排气时间 20分（大气压～1.3×10-3 Pa) 
基板温度 ：350℃ 
特点：
OTFC系列是用于生产红外截止滤光片、分色滤光片等成膜的真空镀膜装置。
真空室尺寸：Φ600-1800mm
60点/80点式光学膜厚监控使用均匀分布的高离子电流密度的离子源
搭载双电子枪，多点和环型坩埚可镀100层以上
利用自动蒸镀控制系统实现全自动蒸镀过程
工件架可选择钟罩式或行星式
排气系统可选择扩散泵+低温冷凝器(POLYCOLD)或冷凝泵　
工作条件：
设备尺寸 约5700mm(W)×7700mm(D)×4000mm(H) 
电源 3相, 200V, 50/60Hz, 约150kVA 
水流量 180升/分以上 
空气压力 0.5MPa以上 
重量 约11200kg